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光栅尺可用于高精度测量的机床和系统

更新时间:2020-07-22   点击次数:3932次
  光栅尺专为需要高精度测量的机床和系统而设计。消除了由滚珠丝杠的温度和运动特性引起的误差和反向误差。典型应用包括:半导体行业的测量和生产设备,电路板装配机,精密机床,高精度机床,测量机和比较器,测量显微镜和其他精密测量设备。
 

光栅尺

  1.用于测量高速运动27m以内的位置。尺寸和安装方法与lida400相同
  2.测量步骤很小,精度和重复精度很高。扫描方式为干涉扫描,测量基准为二相相位光栅。
  3.光栅尺的测量基准为suradur玻璃矩阵光栅,扫描方式为干涉扫描。其特点是精度高,重复精度高,安装简单,开关受限,归零。lif481v的特殊类型可以在10–7bar的真空环境中使用。
  4.特别适用于运动速度高达10m/s的高速运动应用。它支持各种安装方法,并且易于安装。根据应用要求,冶金光栅的基质可以是钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也可以限制开关。
  5.PP双坐标编码器的测量基准为平面二位相光栅,扫描方式为干涉扫描。用于测量平面中的位置。
  光栅尺包括栅尺或钢带和读数头。栅尺和读数头之间没有机械接触。开口的线性栅尺的长光栅直接固定在安装面上,安装表面的平整度直接影响线性栅尺的精度。